獲澳門科學技術基金正式公函通知，教育學院代毅助理教授及彭俊副教授帶領研究團隊申請之項目《原子層沉積氧化物半導體薄膜晶體管及其AMOLED顯示屏研究》於2024年度粵澳科技創新聯合資助項目中獲科技基金議決批准。該項目是在澳門城市大學教育學院院長程李穎教授帶領下，於今年內再次獲批澳門科技基金資助，教育學院曾於今年5月獲批FDCT關於基於遠像光屏技術的護眼學習機技術的研究項目。這也是教育學院團隊協作的成果，智慧教育與教育科技領域是學院的優勢學科發展方向，也是學院一直致力於推動的發展方向。同時也展現了大學在教育與科技的交叉學科領域發展取得的延續性成果。

該項目是由廣東省科學技術廳與澳門科學技術發展基金聯合舉辦，並由粵澳雙方的評審專家聯合開展項目評審。項目負責人代毅助理教授建立了同中山大學電子與信息學院、佛山科學技術學院物理與光電工程學院及業內著名企業的聯合研究團隊協同申報。團隊曾於2018年獲得廣東省科學技術獎一等獎；2021年獲得廣東省科技進步獎二等獎，本人申請國家科技發明專利2項，積累了一定的前期研究基礎。

項目介紹

移動智慧終端機、AR、VR 設備的發展，促使顯示領域朝著更高解析度、超高超低刷新率自由切換、低功耗、柔性可折疊等更高性能方向發展。螢幕技術的進步對薄膜電晶體（TFT）器件的性能要求越來越高：

◆ 高遷移率：高解析度、高回應速度、窄邊框、減少IC數量、低功耗

◆ 低漏電流：低刷新率（低功耗）、智能化

◆ 非晶薄膜：適合大尺寸

本項目適應上述螢幕技術的發展方向，針對解決ALD技術製備高性能氧化物TFT背板與OLED顯示驅動集成的科學與技術難題。在新材料、新結構和新工藝方面做到創新，開發新一代可適用於 OLED 顯示應用的氧化物背板驅動技術。

項目研究目標

 城大研究團隊主要承擔TFT器件模擬及仿真的研究：1）利用TCAD對ALD技術製備氧化物TFT進行分析；2）建立“計算-實驗-資料庫”材料模型。

技術路線圖

項目意義

項目緊密圍繞國家顯示行業實現可持續發展戰略需求，結合粵澳四方優勢，開發符合未來發展趨勢的高遷移率氧化物半導體電晶體，定位產品新一代TFT驅動材料與工藝，為我國顯示材料實現國產替代做出貢獻。

項目負責人分享

 代毅助理教授表示，未來5年將是我國新型顯示材料和裝備自主創新與國產化替代、產業轉型升級的關鍵時期。而目前螢幕顯示行業內通用的方案PVD工藝知識產權被較早進場的玩家（日韓企業）所壟斷。在PVD設備已經被AMAT等外國大型企業所把持，並且不斷縮緊出口限制的當下環境，我國開發具有產業化前景的ALD工藝方案，有利於開拓新的技術領域和突破已有的知識產權壁壘。從而帶動國內尤其是大灣區內目前從事ALD設備開發和生產的企業，對於發展本土產業具有非常重要的意義。並且，該項目也是在前序FDCT項目（遠像光屏技術的護眼學習機）在硬體底層技術上的一次創新性嘗試。同時，也非常感謝城大良好的科研氛圍為團隊在項目申報及研究開展方面提供的有力支持。

項目聯合研究團隊及實驗室